氣相沉積（CVD）爐
先進(jìn)陶瓷
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一、設(shè)備用途：
用做石墨或碳碳表面的碳化硅涂層、碳碳復(fù)合涂層。
用途廣泛 如：
1 碳碳復(fù)合涂層：光伏晶體爐的熱場(chǎng)材料
2 石墨涂層：LED藍(lán)寶石襯底MOCVD的石墨托盤(pán)
二、設(shè)備特點(diǎn)：
1 立式結(jié)構(gòu)，爐殼用耐腐蝕材料制成。
2 獨(dú)特的內(nèi)罩進(jìn)排氣結(jié)構(gòu)，熱場(chǎng)溫度均勻性好。
3 氣氛控制精確，真空系統(tǒng)配有過(guò)濾器，可選配尾氣處理系統(tǒng)。
4 主要電器元件采用施耐德及歐姆龍品牌，性能穩(wěn)定、可靠。
5 配備出、裝料料車，方便操作及出裝料，提高工作效率。
三、主要技術(shù)參數(shù)：
| No. | 型號(hào) | 工作區(qū)尺寸（?XH）mm | 高溫度 (℃) | 真空度 (Pa) | 壓升率 (Pa/h) | 溫度均勻性 (℃) | 功率 （KW） |
| 1 | ZT-60-15 | 300X500 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±10 | 60 |
| 2 | ZT-145-15 | 600X800 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±10 | 145 |
| 3 | ZT-220-15 | 800X1000 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±15 | 220 |
| 4 | ZT-270-15 | 1000X1500 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 275 |
| 5 | ZT-550-15 | 1500X2000 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 550 |
爐膛尺寸可按要求定做
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